低溫等離子廢氣處理：
一、操作順序及注意事項一，開機順序：
1、啟動電源前，先檢查等離子設備及相關配套設備是否安裝可靠，封閉。防爆裝置是否靈活
2、合上總開關檢查電源，觀察各電源指示燈是否正常
3、啟動風機，檢查風機旋轉方向是否正常
4、啟動噴淋水泵，檢查噴淋設備噴水是否正常
5、有排風扇的開啟排風扇。（如有旁路，啟動等離子前先打開等離子閥門，在關閉旁路閥門；關閉等離子時，應先開旁路閥門再關閉等離子閥門）
6、設備運行1分鐘后打開等離子電源按鈕，按順序間隔3-5秒依次打開，打開同時依次檢查數字電流表的電流是否正常。
二、關機順序：
1、關閉等離子按順序依次關閉
2、關閉噴淋
3、關閉風機
注意事項：
1.運行設備過程中，切勿打開電器柜及設備密封門。
2.根據工作環境情況，定期對設備進行維護、清潔。
二、設備日常維護及保養：
1、配有水塔的廢氣治理系統，應少一個星期換一次水，換水時應先將塔內存水通過排水口排放干凈，加入1/3正常水量的循環水后，開啟循環水泵運行后，再次排放干凈，重新加水至正常水位。（根據所治理的廢氣不同，有的水塔需要加片堿的，應適當加入片堿）
2、每個月應將等離子設備電極組件抽出來全面清洗一次，視污垢附著程度，如果不太臟時可用高壓水槍加家用洗潔精噴洗或者用熱水加入家用洗潔精泡洗。如果積垢比較嚴重，則可用重度1:25的燒堿與熱水混合溶液泡洗較快較。
清洗結束后應將電極架晾干進行中心校正后可裝機使用。校正方法：將電極架如正常使用時放置，從電極架進氣方向目測，每個電極單元的中心發射管是否在接受管（外筒）中心，若目測偏移，可用直徑10mm鋼棒插入發射極進行調整，調整時切記不可用力過大過猛，應逐漸加大調整力度。
3、每三個月至半年（較長年限是半年）視情況將等離子設備所有電極抽出全面清洗一次，清洗方法參照第2條。
4、設備不運行時，應將系統進氣口蝶閥關閉，需要運行設備時再將之打開。系統配置有可燃性氣體檢測探頭的，在設備整體運行時間累計達到500h時，應將系統進口處的可燃性氣體檢測探頭下拆下，擰下探頭底部保護帽，將保護帽內的濾芯用干燥壓縮空氣反向吹拭干凈后，將之與探頭組裝好再安裝回原來位置。
